製造品目

窒化けい素セラミックス(Sin3N4)


窒化けい素セラミックス

当社の主製品である反応焼結窒化けい素は、 純度の高い金属けい素(Si~99~%)の粉末を所要の 形状に成形し窒素雰囲気中で加熱反応させて造られますが、 焼成後の製品寸法が素地の寸法と殆ど変わらないため、 焼成技術が適切でありますと、きわめて寸法精度の高い成形体が 低コストで得られます。



特徴
窒化けい素セラミックス

●熱衝撃に強く、耐火度が高い(1900℃で昇華)
●熱膨張が非常に小さく、SiCの1/2、Al2O3の1/3です。
●機械的強度(圧縮強度、曲げ強度、摩耗強度、硬度など)が大きく、とくに高温下でも低下しません。
●化学的に安定で溶融金属(とくに非鉄金属)、薬品、腐食性ガスに対して耐蝕性が大きい。
●電気絶縁性が大きく、高温においても低下しません。
●焼成後の変形がほとんどないので、製品の寸法精度が高く、複雑な形状、極薄肉のものができます。
●価格が比較的安い。


科学成分
Si3N4 Free Si Fe Al Ca C
97.0〜99.0 0.2〜0.5 0.3〜0.8 0.05〜0.2 0.05〜0.2 0.1〜0.2

物理的性質
例1 例2
耐火度 (℃) 1900 昇華 1900 昇華
かさ密度 (g/cm3) 2.25 2.44
気孔率 (%) 27.0 17.2
吸水率 (%) 12.0 7.3
圧縮強度 (MPa) 500 760
曲げ強度 (MPa) 93 132
硬度 (ロックウェル) 55 HRA
熱膨張率20〜1100℃ (/℃) 2.5×10-6
熱伝導率(350℃) (W/m・K) 3
比熱 (J/kg・K) 800
荷重軟化点 (2kg/cm2) T1、T2、T3>1750℃
最高使用温度 (℃) 中性還元性雰囲気 1850
酸化性雰囲気 1700
真空中(10-3Torr)1300
常用使用温度 (℃) 中性還元性雰囲気 1800
酸化性雰囲気 1400
真空中(10-3Torr)1200
体積固有抵抗 (Ωcm) (常温)1013(310℃)2.0×1010
(650℃)1.5×106
誘電率 (1MHz) 4

化学的性質
1.溶融金属に対する耐蝕性
金属 浸漬温度(℃) 浸漬時間(Hr.) 作  用
Al
Pb
Sn
Zn
Mg
Cu
Ni-Cu合金
Fe
800〜1000
400
300
550
750
1150
1250
1600
950
144
144
500
20
7
5
10
侵されない



僅かに侵される
侵される
侵されない
侵される

2.薬品に対する耐蝕性
侵されない薬品 侵される薬品
20% HCl煮沸
65% HNO3煮沸
10%、77%、85% H2SO4
HPO3、H4P207
25% NaOH
Cl2 wet gas 30℃、Cl2 gas 900℃
H2S 1000℃
濃 H2SO4 煮沸
濃 H2SO4+CuSO4+KHSO4
NaNO3+NaNO2 salt bath 350℃
NaCl+KCl salt bath 790℃
50% NaOH煮沸 115Hr.
NaOH溶融 450℃ 5Hr.
48% HF 70℃ 3Hr.
3% HF+10% HNO3 70℃ 115Hr.
NaCl+KCl salt bath 900℃ 144Hr.
NaB(SiO3)2+V2O5 1100℃ 4Hr.
NaF+ZrF4、800℃ 100Hr.





3.雰囲気に対する耐蝕性
雰囲気 温度(℃) 時間(Hr.) 重量変化(%) 組成変化
H2
NH3分解ガス
Ar
Cl2
CO2
大気

真空(10-3Torr)
1200
1200
1200
700
1200
1200
1400
1200
1400
10
10
10
200
10
100
5
5
5
+0.12
+0.11
+0.16
-0.48
+5.68
+2.04
+0.62
-0.65
-2.15
変化なし



αクリストバライト
生成


変化なし
分解、Si生成

主な用途
各種雰囲気炉の炉床板、レール、ロール、支柱、ヒーター支持具、フィーバー支持具、絶縁材などの炉材。
棚板、サヤ、ろう付治具、粉末冶金の焼成治具。高周波熱処理炉の炉芯管、絶縁材、各種部品。アルミニウム、亜鉛、鉛、錫、銅、黄銅の熱電対保護管。桶、ノズル、ストッパーヘッド、るつぼ、ストーク、撹拌装置部品など。


BN-Si3N4セラミックス

半導体用金属けい素の粉末を原料としてSi3N4>99%に仕上げた製品です。
主な用途
スパッタリングターゲット


高純度窒化アルミニウム粉末(AIN)

高純度窒化アルミニウム粉末

純度の高いアルミニウム粉末(Al>99%)を窒化反応させ、得られた焼結体を粉砕し需要に応じた粒度に調整したものを用意いたしております。




主な用途
超硬材料焼結用浸炭防止剤、サイアロン、窒化アルミニウムセラミックスの原料。